第六百五十五章 光刻机的那些事儿(第3/4 页)
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-021-03203。
但实际上HEPS这个项目在2017年5月的时候就被批复了，文件叫做《燕京怀柔综合性国家科学中心建设方案》。
也就是17年立项，21
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